国际在线创新频道

三维微纳加工领域迎来精妙“冰刻”术

2018-07-24 11:00:01|来源:科技日报|编辑:于苏燕 |责编:韩东林

  科技日报杭州7月23日电:在-130℃附近的真空中,水蒸气会凝华成一层超级光滑的薄冰。近日,浙江大学科研人员用这种特殊的“冰”代替传统电子束曝光中的光刻胶,做出了微纳尺度的三维金属结构。这一新颖、简便的“冰刻”术有望在三维微纳加工中大显身手。

  据了解,当前最常用的微纳加工方案为电子束曝光技术,简称“光刻”。实际操作中光刻的精度约在60—80纳米,但这已满足不了微纳器件的小型化、精细化等日益突出的需求。

  6年前,刚回国的仇旻就提出用冰来做光刻胶并运用在三维微纳器件加工领域上的设想。如今,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室仇旻教授团队经过6年研发,搭建了一条全新的集制冷组件、注水组件、支撑组件、测温组件于一身的扫描电镜。

  “我们在电镜上进行纳米冰膜的制备,又可将冰膜移动到金属沉积台。这是一个全程‘冷链’的移动操作台。”参与研发的洪宇博士说。

  通过这台仪器,仇旻团队成功制造出金字塔、蘑菇、桥等三维造型,并保证了作品的精度——分辨率达20纳米,定位精度达到100纳米以下。

  仇旻介绍,“冰刻”术最大的难点在于找到平整纳米冰膜,团队不断实验寻找到了真空中-130℃附近,恰好是水蒸气凝华成无定形冰的条件。

  平整的冰膜让电子束可以对冰雕刻出更多精巧的立体结构。“我们还尝试在一根头发丝千分之一粗细的纳米银线上,安放了一块纳米银牌。”洪宇说。

  该技术目前已在Nano Letter杂志发表论文。仇旻认为,该技术为基于量子点、纳米管、纳米线、石墨烯、光纤等材料的新型光电子器件创造更多可能。(江 耘)

分享到:

国际在线版权与信息产品内容销售的声明:

1、“国际在线”由中国国际广播电台主办。经中国国际广播电台授权,国广国际在线网络(北京)有限公司独家负责“国际在线”网站的市场经营。

2、凡本网注明“来源:国际在线”的所有信息内容,未经书面授权,任何单位及个人不得转载、摘编、复制或利用其他方式使用。

3、“国际在线”自有版权信息(包括但不限于“国际在线专稿”、“国际在线消息”、“国际在线XX消息”“国际在线报道”“国际在线XX报道”等信息内容,但明确标注为第三方版权的内容除外)均由国广国际在线网络(北京)有限公司统一管理和销售。

已取得国广国际在线网络(北京)有限公司使用授权的被授权人,应严格在授权范围内使用,不得超范围使用,使用时应注明“来源:国际在线”。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。

任何未与国广国际在线网络(北京)有限公司签订相关协议或未取得授权书的公司、媒体、网站和个人均无权销售、使用“国际在线”网站的自有版权信息产品。否则,国广国际在线网络(北京)有限公司将采取法律手段维护合法权益,因此产生的损失及为此所花费的全部费用(包括但不限于律师费、诉讼费、差旅费、公证费等)全部由侵权方承担。

4、凡本网注明“来源:XXX(非国际在线)”的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,丰富网络文化,此类稿件并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。

5、如因作品内容、版权和其他问题需要与本网联系的,请在该事由发生之日起30日内进行。

更多>> 视频聚焦

更多>>

重点展示中国文化体制机制改革成果和文化产业发展成就[详情]

  • 创新
  • 友情链接

国际在线创新频道联系方式 电话:010-68641410 邮箱:关于我们